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我首条石英玻璃基板成套生产线建成

时间:2021-04-04 00:08 点击次数:
  本文摘要:,记者3日从中国建筑材料科学研究总院(以下全称建材总院)得知,基于光刻用石英玻璃基板(以下全称石英玻璃基板)绿色生产技术,建材总院石英院在衢州创建了国内首条从基板原材料生产到产品加工的成套生产线,该生产线可年产20000片46英寸石英玻璃基板,超越了石英玻璃基板原材料及产品长年倚赖进口的局面。 该生产线的创建,是建材总院分担的十二五国家科技承托计划高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种材料关键技术研发及样板课题的成果之一。

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,记者3日从中国建筑材料科学研究总院(以下全称建材总院)得知,基于光刻用石英玻璃基板(以下全称石英玻璃基板)绿色生产技术,建材总院石英院在衢州创建了国内首条从基板原材料生产到产品加工的成套生产线,该生产线可年产20000片46英寸石英玻璃基板,超越了石英玻璃基板原材料及产品长年倚赖进口的局面。  该生产线的创建,是建材总院分担的十二五国家科技承托计划高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种材料关键技术研发及样板课题的成果之一。  玻璃基板是集成电路芯片生产工艺中的核心器件,市场需求量极大。作为石英玻璃基板的原材料,制备石英玻璃具备热稳定性好、光学均匀分布性低、耐电离辐射等诸多优点。

然而,不受原材料纯度、均匀分布性及加工精度、硬脆特性等制约,我国石英玻璃基板长年倚赖进口。  作为我国唯一专业专门从事石英玻璃研究的科研院所,建材总院石英院科研人员经不懈努力,构成一套合乎我国行业现状与发展趋势的独特工艺路线,不但解决问题了石英玻璃基板原材料的纯度、均匀分布性难题,同时构建了原材料绿色生产;引进多刀切割成、安全性较慢篦抛掷工艺,创造性地研发了熔拉制坯、数控倒角等技术,解决问题了石英玻璃基板加工精度的难题。

从基板原材料生产到产品加工,该院构成专利20余项,行业标准、国军标及国家标准10余项,研发出有了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品,不仅逐步替代进口,而且出口欧洲、日本等国。


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